description
3D Optical profiler nanometer measurement with confocal, interferometry and focus variation technology (Profiler optique 3D avec mesure nanométrique par confocalisation, interférométrie et variation de focalisation)
Une solution d'AQ/CQ et de R&D conçue pour la vitesse. Profilage 3D au nanomètre avec 3 technologies optiques et la possibilité de mesurer des surfaces lisses et brillantes. Le S Neox mesure à l'aide de techniques confocales, d'interférométrie et de variation de focalisation. Pour la mesure de la rugosité, de l'état de surface, de la planéité et de l'ondulation sur des matériaux tels que les films minces et les plaquettes.
Ai focus variation - Sauvegarde chaque couche au fur et à mesure que la lentille se déplace vers le haut, ce qui permet de voir la forme et la courbure.
Confocal - Ne laisse passer que la lumière focalisée, ce qui permet de voir la structure de la surface. Interférométrie - Utilise un laser pour permettre des mesures très précises à l'échelle du nanomètre, ce qui est idéal pour les surfaces brillantes telles que les tranches de silicium.
Réflectométrie spectroscopique - Effectue des mesures d'épaisseur sur des couches transparentes de manière rapide, précise et non destructive.
Accessoires inclus :
Joystick et module d'alimentation
Objectif de grossissement pour microscope : Nikon LU Plan Flour 10X, 20X, 50X, 100X
Profileur X-Y motorisé
Table d'isolation des vibrations
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